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如何对吨桶ibc包装桶设计提出要求

作者:化工桶-塑料桶-吨桶-IBC包装桶生产厂家 浏览: 发表时间:2020-12-16 17:41:55

  这对吨桶ibc包装桶设计提出了迫切的要求,因为要避免学计量反应对于不同的金属通常需要相同的配位体。使用单源前驱体的优点是可以使用具有殊结构的分子团簇作为前驱体这样可以用前驱体的内来控制终薄膜的结晶。这将有可能用来沉积某种材料的新相或亚稳相,然而,文献报道应用这种方法的例子不多。立方和六方薄膜已经能够从分子簇中沉积,其中团簇结构和薄膜品体结构间的关系已经被观察到热壁和冷壁反应器的对比学气相沉积可在许多类型的反应器中进行,主要的类型有热壁反应器、冷壁反应器和等离子反应器参见节的间。考虑对热壁反应器和冷壁反应器的征进行讨有两个主要原因,先反应器的类型和它的操作条件对沉积工艺具有深刻的影响;其次,只要仔细分析速率数据,反应器的操作方式有利于获得定量的动力学和机理方面的信息,如下所述。

  管工业上的金属多数都在单品片 冷壁系统中进行,但是热壁反应器已被广泛用于金属的实验室研究。热壁系统的优点是:容易操作吨桶ibc包装桶,能够容纳几个基片;能够在定范围的压力和温度下操作;相对于气流方向允许基片不同的摆放方向。热壁系统的主要问题是沉积不仅发生在基片上,而且也能在反应壁上沉积,这些器壁上的沉积层终会掉到基片上而污染基片,同时,与冷壁反应器相比,在相对较低的温度下,前驱体的量损耗会出现输送速率控制的沉积方式  。在殊况下,当沉积是选择沉积或反应物不在反应壁上时,沉积只在基体上发生,然而,反应经常在器壁上发生,而且在多数况下,沉积层覆盖的反应器内壁的面积分数会在个实验过程中以及从个实验到另个实验时发生变,产生沉积条件变的问题。此外,均匀气相反应在加热气体中发生时会导致沉积率的减小。

  因此热壁反应器主要被用来在实验室研究使用某给定前驱体进行的可行。由于巨的加热面积能完全地消耗前驱体并得到高产量的反应产物,因此,它们常常被用来确定反应产物的分布。尽管有例外存在,但是热壁反应器通常不在工业上使用,也不被用作反应动力学的定量测定,然而,通过采用具有高蒸气压的前驱体,它们在工业上被广泛用于半导体和氧物的反应器热反应器示意另方面冷壁反应器广泛用于实验室和工业尽管冷壁在相对于气流的不同方向上只能容纳个晶片,但是,能够控制压力和温度可以使用等离子体沉积不会在反应器壁上发生,均相反应不易发生,可获得比热壁反应器高的沉积率。因为反应不会在反应壁上发生,所以冷壁反应也更适合选择沉积的研究。它们也能用来测定动力学参数,因为容易获得面反应控制动力学的条件;为了获得动力学数据需要在不同的模式下操作,在这些操作条件下,为了保证面反应控制动力学并使反应产物的转小前驱体的转足够低。由于沉积仅在基体上发生,因此能够得到吨桶ibc包装桶高的沉积率而前驱体的消耗速率较低。


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