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已在塑料桶使用中取得了重要的进展

作者:化工桶-塑料桶-吨桶-IBC包装桶生产厂家 浏览: 发表时间:2020-12-16 17:38:16

  塑料桶的分热可能导致前驱体输送速率的改变薄膜质的改变以及不同批次沉积间的不可复现的沉积结果。要求前驱体在常温下保存期间具有长期的稳定,同时在高温下以获得高的沉积速率具有高的热反应会产生种矛盾   ,因为人们常常希望在尽可能小的基体温度下沉积薄膜但是又具有高的沉积速率,因此,通常有个窄的温度范围,即低温端前驱体应有长期的热惰,而高温端前驱体应有高的反应速率来沉积较纯的薄膜。

  多数工业上重要的工艺都使用简单的前驱体,例如,金属氢物,、金属烷基物,、金属卤物,,或者是混合配位体体系如 , ,因为它们具有高的蒸气压,而且沉积薄膜的可复现强、容易控制,避免了杂质的混入通常牺牲相对高的基体温度,约。然而,很多材料在形成薄膜方面展示了令人感兴趣的能这为开发分子型含金属合物尤其是作为的前驱体的合物提出了种挑战。些用于塑料桶各种材料的前驱体、条件和沉积技术例子所示多数挥发的含金属合物是典型的单体合物并且经常含有的配体。就是个这样的例子,的金属二酮  ,例如作为前驱体巳被广泛研究,并用来制备许多含金属薄膜,如金属、金属氧物、金属硫物。因为二酮配位体是双齿的,而且般但并非始终如此!优先与金属络合。低配位数金属的金属日二酮络合物经常是单体的和挥发的合物。然而,对于像具有较高配位数的二主族元素,问题就出现了如挥发不够。二主族元素被量用于技术的相关材料,例如,铁电薄腿即和陶瓷超导体,下面举例说明其络合物学,例如,像其配位数优先选择这样的元素,如果其优选的配位数于,种双齿配位体螯合剂对于种低价即金属将配位使金属饱和。

  这导致合物齐聚到点满足金属配位数的要求。作为个例子,的固体结构像样在作了较好的描述的结构来自参考文献有两种方式解决这个问题并防止齐聚。种方法是采用有空间要求的配位体,通过邻近分子的配位体在空间上到达金属来防止齐聚。这在许多况下防止了齐聚,但还是有些问题。问题是在空间阻碍的合物   里的金属因为其反常的低配位数通常非常活泼。因此,这些合物非常容易与和这样的小分子反应,这些小分子能够穿透配位体壳层即阻止较的配位体。从实用的观点来说这使得它们难以处理。具有空间位阻的含金属合物的另个问题是,配位体通常使合物具有相对高的分子量从而减小挥发。解决这个题的另种方法是把多齿配位体整合剂引人金属配位范围,从而满足金属优先选择的高配位数而防止齐聚。这种方法已经在许多场合下成功应用,尤其是二主族下面的较重的元素和镧系元素和所示。关于这种方法也有些问题。多齿配位体可能优先桥接两个或多个金属,而不是在输运的过程中或者在输运前鳌合或者,这可能导致齐聚或者降低挥发。然而,这些问题已被克服,这种方法已在塑料桶中取得了重要的进展。前驱体从蒸发器例如,起泡器里传输到反应室时,在起泡器温度下存在的气相前驱体是非常重要的。


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