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塑料桶通过输送方法提供的使用速率

作者:化工桶-塑料桶-吨桶-IBC包装桶生产厂家 浏览: 发表时间:2020-12-16 17:37:09

  这些塑料桶问题常常在为较小的关键尺寸微电子设备技术建造生产设备的成本的文章中进行讨,也在其他地方进行过详细的描述工艺基础般工艺所包含的步骤为了识别和理解工艺的基本原理,可以被认为是由许多步骤组成的,任何个步骤都可以是在定环境下的速率控制步骤。在本节,对这些步骤介绍和描述时没有考虑其他可能影响这些步骤的因素,例如,所用反应器的质、压力范围以及前驱体输送方法,这些问题将在面考虑。从某种分子前驱体制备任薄膜的工艺所包含的关键步骤所示金属配位体金属分子气相反应所包含的关键步骤示意无机薄膜的学气相沉积涉及含金属合物或前驱体传输进入反应器。前驱体在加热的基材上先是物理吸附,是学吸附,是反应释放支撑的配位体,释放的支撑配位体  在终脱附前可以进步吸附或反应,释放的脱附物质被传输出反应器。作为选择前驱体也可以和其他试剂如或其他的含金属合物反应生成挥发的产物。学吸附的前驱体可以进步反应的支撑配位体,从而形成金属或其他元素的原子,这些原子能够在面上扩散到某形核位置导致薄膜的生长。

  这些步骤的任何步都可能是速率控制步骤包括前驱体到反应器的运送速度、塑料桶通过液态或固态输送方法提供的前驱体蒸发速率、前驱体从界面层到基体的扩散、前驱体的吸收、前驱体在基体上的学反应通常不是个基本过程,或配位体或其他产物的脱附速率。速度控制步骤的位置不但影响生长率而且影响薄膜的质,如形貌、成分、纯度沉积选择、均匀和保形。因此,了解速度控制步骤的位置的结果和在沉积过程中如何影响该步骤是非常有价值的。在这个阶段值得注意的是:文献中通常报道的尽管很少提到薄膜沉积率是观生长速率,因为形核孕育期的时间通常不能测量与有关的某些潜在的问题中所示,中明,气相中的前驱体可能在基体面提前发生反应。这种况在具有高的总压力和高的前驱体浓度的热壁沉积系统

  塑料桶中尤其容易发生,气相反应通常是有害的,因为它们会形成颗粒并沉积,前驱体的不完全反应以及在基体面上前驱体的损耗等所有这些况都会导致沉积速率的降低和副产物的形成,而副产物在基体面反应会引人面杂质。然而,有许多沉积工艺的例子即,和的其气相反应被认为是有益的前驱体的要求用作含金属薄膜的的含金属合物前驱体现出许多学和物理的,在某温度下,它们应该具有合理的不会导致热的蒸气压参见方程,而且应该在种可控制的方式通过副产物,避免杂质混入下进行热从而形成种所希望的成分、形貌和纯度的薄膜。本节讲述对前驱体的这些要求前驱体的挥发作为个经验法则,在输送温度下的蒸气压至少需要以获得合适的沉积速率即几百分钟。从纯粹实践的观点来讲,使用标准气体质量流量约为需要比较高的蒸气压来保证可控制地把前驱体输送到沉积室。当采用传统的起泡器见面前驱体输送器时尤其重要,因为这时需要将前驱体在较高的温度下加热好长段时间。


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